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<図書>

Micro mechanical systems : principles and technology / edited by T. Fukuda and W. Menz

(Handbook of sensors and actuators;v. 6)
データ種別 図書
出版者 Amsterdam ; New York : Elsevier
出版年 1998
大きさ viii, 268 p. : ill. ; 25 cm

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配架場所 巻 次 請求記号 資料番号 状 態 資料区分 コメント ISBN 刷 年 利用注記
2F 書庫A
007.63||Mi13F E99001516 専門図書(外国語) - 図書
0444823638 (A

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一般注記 Includes bibliographical references
著者標目 Fukuda, T. (Toshio), 1948-
Menz, W. (Wolfgang)
件 名 LCSH:Microelectromechanical systems -- Handbooks, manuals, etc
分 類 LCC:TJ163
DC21:621
書誌ID 1000130395
ISBN 0444823638 (alk. paper)
巻冊次 ISBN:0444823638 (alk. paper)

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