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<図書>

Chemical physics of thin film deposition processes for micro-and nano-technologies / edited by Yves Pauleau

(NATO science series;Sub-series II, Mathematics, physics and chemistry ; v. 55)
データ種別 図書
出版者 Dordrecht : Kluwer Academic
出版年 c2002
本文言語 英語
大きさ xiii, 363 p. : ill. ; 25 cm

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配架場所 巻 次 請求記号 資料番号 状 態 資料区分 コメント ISBN 刷 年 利用注記
2F 書庫A
428||C38P E02002147 一般図書(外国語) - 図書
1402005245

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別書名 異なりアクセスタイトル:Proceedings of the NATO advanced study institute on chemical physics of thin film deposition processes for micro-and nano-technologies, Kaunas, Lithuania, 3-14 September, 2001
一般注記 Includes index
著者標目 Pauleau, Y.
書誌ID 1000127272
ISBN 1402005245
巻冊次 ISBN:1402005245

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