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<図書>

アタラシイ ハンドウタイ セイゾウ プロセス ト ザイリョウ

新しい半導体製造プロセスと材料 / 大見忠弘監修

データ種別 図書
出版者 東京 : シーエムシー
出版年 2000.5
本文言語 日本語
大きさ 274p ; 27cm

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配架場所 巻 次 請求記号 資料番号 状 態 資料区分 コメント ISBN 刷 年 利用注記
3F 閲覧室
549.8||A94 J00009023 専門図書(日本語) - 図書
488231276X

書誌詳細を非表示

一般注記 New Process and Materials of Semiconductor Equipment
著者標目 大見,忠弘 <オオミ,タダヒロ>
件 名 BSH:半導体
分 類 NDC8:549.8
NDC9:549.8
書誌ID 1000086200
ISBN 488231276X
巻冊次 ISBN:488231276X ; PRICE:\65000

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